论文部分内容阅读
双频激光干涉测量技术以其抗干扰性强、精度高、可溯源等优点,已成为静态、准静态精密测量的经典工具和主要手段。与此对应地,NIM、NIST及PTB等计量机构均制定了详尽的检定校准规范,为静态、准静态激光干涉仪的研究和推广提供了坚实可靠的法定计量保障体系。然而,近年来随着微电子制造、超精密机械加工等超精密装备业的发展,双频激光干涉测量技术的研究焦点已从静态测量转移到动态测量上,相应地对激光干涉仪的计量校准提出了超精密、动态测量特性校准要求。特别是在我国,由于缺乏新的动态测量用双频激光干涉仪计量校准规范,双