双频激光干涉仪相关论文
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
随着工业制造、航空航天和基础建设等领域的技术进步,三维精密测量技术与仪器不断发展与创新。从传统的三坐标测量机、经纬仪等到......
本文着重介绍了采用量块、双频激光干涉仪和多面棱体、光电自准直仪对三坐标测量机及配套光学转台在校准过程中因各项标准设备引入......
There is an increasing demand on the measurable velocity of laser interferometer in manufacturing technologies. The maxi......
线位移传感器作为尺寸测量仪器广泛应用于航空航天、军工科研、民生基建等领域,具有响应速度快、量程范围广、测量精度高等特点。......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性， 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项， 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设......
针对以往文献提出的探测非线性误差方案比较复杂,通常不容易实行的缺点,设计了一套简单有效的系统,用以区分由光源偏振态非理想和......
双频激光干涉测量技术以其抗干扰性强、精度高、可溯源等优点,已成为静态、准静态精密测量的经典工具和主要手段。与此对应地,NIM......
双频激光干涉测量技术以其非接触、抗干扰性强、精度高、可溯源等优点，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等静态几......
水准尺是一种被广泛应用于大地测量和工程测量之中的一类长度计量器具，它的分划精度直按影响着测量结果的准确性和可靠性。然而，水准......
数字水准仪自1990年诞生以来,凭借其精度高、速度快、操作简单等优点很快得到了广大用户的认可。并逐步应用于高精度水准测量、地......
在日常的工作中,对于大尺寸游标类量具的检定存在不少困难.针对这一难题,本文创造性地提出了利用双频激光干涉仪进行大尺寸高度卡......
1 引言 三等标准金属线纹尺（以下简称三等线纹尺）的示值误差，可用激光干涉仪进行测量，也可用二等线纹尺作为标准尺在测长机或其他检......
在激光干涉仪的微纳米加工过程中,着重分析了随着外界环境因素诸如大气压强、温度、相对湿度的变化而引起的测量结果的改变,进而分......
本文介绍了双频激光干涉仪的工作原理及齿条和丝杠传动车床的基本构成，利用激光干涉仪对车床定位精度的检测，分析车床的运动精度误差......
利用双频激光测长原理,在建立50 m超长气浮导轨的基础上,提出了由地基、导轨、测距主标准器及工装配套等模块组成的一维大尺寸精密......
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MH......
采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪......
双频激光干涉仪测量系统是以激光波长为测量基准,在空气中传播的激光波长会受到空气折射率变化影响,分析了现有的激光波长补偿方法......
基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号......
介绍了以双频激光干涉仪为测量设备的液位标准装置的测量原理及结构,建立了液位标准装置的不确定度数学模型,对影响液位标准装置的......
双频激光干涉仪以激光波长为标准进行长度测量，在线性测长及角度测量等领域应用广泛，但不合理的使用将带来很大的测量误差，本文就测量......
针对目前广泛应用的滚珠丝杠螺旋线误差检测系统的不足，对传统测量仪器进行了改造，以双频激光干涉仪作为长度测量基准、圆光栅作为角......
本文根据浮子式液位计原位校准系统的要求与苏州第一光学仪器厂合作生产出一款短距离高精度测距仪,它采用相位法测距原理,在使用其......
分析总结了已有外差干涉信号处理方法的不足.这些方法均不能移植用于处理中频差.提出了一套基于CPLD的中频差外差信号处理的整数检......
本文阐述了双频激光干涉仪的测量原理、精度和测量方法 ,并在计算机控制的误差补偿系统中 ,应用双频激光干涉仪对数控机床的定位误......
双频激光干涉仪是现代精密测量中最精密的测量仪器之一.文章介绍了双频激光干涉仪的实验内容和方法,以及在实验教学中激发学生兴趣......
以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度......
在介绍双频激光干涉仪工作原理的基础上，给出程控倍频计数器系统总体设计图，详细论述了基于NE564程控倍频模块和双通道缓冲连续计数......
通过对影响数控铣床加工精度误差的分析，并对误差进行合理分类，阐述了双频激光干涉仪的工作原理及利用双频激光干涉仪对数控铣床进行......
在24 m大长度检测平台上，通过对导轨改造，研制具有自动化控制以及精确定位的移动平台，利用远程计算机自动化操控，实时获取双频激光干涉......
【摘要】：针对国际上尚未有液位计在线检定标准装置这一问题，提出了在线液位标准检定装置的设计思路。介绍了在线液位标准检定装置各......
介绍了采用平面反射镜折光的原理，使条码因瓦水准标尺（纵向）水平移动来模拟工作中高差变化，用双频激光干涉仪测量的尺身水平移动量与数......
根据极大规模集成电路制造对光刻物镜中敏感光学元件调节机构高精度的调整要求,研究设计了一套基于双频激光干涉仪的高精度六自由......
在导轨系统中,导轨的直线度误差通常可利用自准直仪或电子水平仪,采用节距法来达到误差检定的目的。而节距法只对导轨副行程相对较......
提出了一种基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的新方法,采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位固定在被测工件直径两端点......
介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法。并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工......
提出了对三坐标测量机X向位置偏差δx(x)测量不确定度评定的一种模式,测量仪器采用了双频激光干涉仪.在数学模型的建立过程中充分......
丝杠是机械传动中重要的传动部件,其自身精度往往对整个装置的精度起着决定作用,因此,丝杠精度的检测有着极其重要意义。以往的测......
分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中......
针对大型回转体型面测量问题,根据柱坐标机的测量原理,研制了大尺寸回转体型面点坐标及形心轴线测量系统。对影响系统测量精度的不......
针对传统的丝杠精度静态检测方法测量效率低、人为误差大的特点，设计了以双频激光干涉仪作为长度基准，圆光栅作为角度基准的丝杠精度......
开发了一套电梯导轨测试系统,该系统用于静态测量电梯导轨的几何参数,包括导轨三个导向面的直线度、平面度、导轨的宽度、高度、垂......
从分析五角棱镜的角度制造误差产生的光学平行差入手，建立起五角棱镜的光输出平面渡前与运动误差和角度制造误差产生的扫描激光束转......
设计了一种高精度测量零件受热变形量的实验装置.用恒温箱控制温度变化及保持温度稳定,利用电感测头对测量进行定位;同时,利用双频......
光学共焦显微镜现己广泛地应用于微机械、生物样品、材料及微电子器件的三维测量,但经典的光学共焦显微镜由于原理性限制,其分辨率......
主要介绍了机床轴线位置精度的检测方法、评定标准以及测量过程可能产生的误差来源。...
