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在集成电路装备制造业领域,旋转柔性梁的振动控制是一个研究热点,其中应用智能材料进行主被动一体化控制是一个重要的研究方向。在智能材料中占有重要席位的电流变材料发展出了新的分支——电流变弹性体。这是一种将可极化颗粒混合在弹性胶体中的类似于橡胶的弹性体,它保留了电流变材料刚度和阻尼可调的性能,同时解决了长期困扰电流变液应用的性能不稳定、颗粒沉降和泄漏问题,因此拥有比电流变液更广泛的工程应用潜力。但将电流变弹性体应用到旋转柔性梁的振动控制中的报道还不多见。本文以旋转电流变弹性体夹层梁为研究对象,首先