电液伺服阀是大量应用在航空、航天、航海等领域航行控制的电液伺服控制系统中的关键元件,它的加工质量直接影响伺服控制系统的总体性能。目前我国伺服阀生产一般属于单件小批量生产,尚未形成规模化生产,电液伺服阀的制造工艺尺寸精度要求高,其加工普遍采用偶件配做的方式。因此,伺服阀阀芯轴向配磨技术是伺服阀制造过程中的一项关键技术。本文针对目前我国伺服阀阀芯轴向配磨领域的现状,研制了一套滑阀轴向闭环控制配磨专用高精度自动化加工系统。在系统设计过程中,提出了三套系统整体方案,通过各种方案之间的对比分析,确定选用了其中最优者。在已确定的系统整体方案基础上,对压电陶瓷微进给装置的三个组成要素进行了分析,选择了适合该系统的微进给方案。该系统采用压电陶瓷微进给顶尖作为微进给装置,电感式高精度位移传感器在线检测轴向磨削量,以单片机为核心的控制仪控制加工过程。按照电液伺服阀阀芯轴向磨削加工工艺的要求,编写了控制程序,使之具有自动进给、加工状态判断、加工完成后快速归位等功能,完成阀芯零件的轴向精密配磨。对系统进行了实验研究,结果证明该系统可以实现40μm的进给量,进给监视行程达到200μm,配磨误差预计在0.5μm之内,闭环检测分辨率达0.1μm,并且可以根据工艺要求实现不同的进给速度。