本文通过沉淀聚合合成了聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯)四元共聚物,合成了光产酸剂二苯碘三氟甲基磺酸盐,在净化室中以聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯)四元共聚物为主体树脂,以二苯碘三氟甲基磺酸盐为光产酸剂,选择合适的溶剂进行配方优化实验,最终得到实验范围内的优化光刻胶,并进行系统的光刻试验。在甲苯中,以偶氮二异丁腈为引发剂进行共聚反应,得到一系列组成及分子量不同的聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯)共聚物,并用重沉析法进行分级,以此产物为光刻胶的主体树脂。在二氯甲烷中,以三甲基硅三氟甲基磺酸盐和二苯碘氯化物反应,用乙醚沉析得到二苯碘三氟甲基磺酸盐。对反应条件的优化进行了研究,得到了二苯碘三氟甲基磺酸盐。以此作为光刻胶的光产酸剂。在净化室中进行配胶试验,对不同分子量和单体比例的聚合物进行优化选择。对不同含量的光产酸剂进行优化,选择了二乙二醇二甲醚作为光刻胶的主要溶剂,乙二醇甲醚作为辅助溶剂。最终得到了实验范围内的优化光刻胶。在净化室中进行光刻试验,根据实验结果确定树脂、光产酸剂及溶剂组成,涂敷条件、前烘条件、曝光条件、后烘条件和显影条件。在应用单位中电集团公司第十三研究所,进行了电子束光刻,测定了光刻胶的灵敏度和分辨率。最终得到了性能较佳的光刻胶。