移相式红外泰曼干涉仪的研究与应用

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本论文结合科研项目“红外泰曼干涉仪”进行,该项目来源于中国科学院南京天文光学技术研究所,研制的干涉仪主要用于测量粗糙表面的面形、大口径球面等。本项目所研制的红外泰曼干涉仪的特点是整机尺寸小型化、可移动、易调整操作,主要用于光学车间现场检测。文中分析了仪器涉及到的移相干涉、热释电摄像仪的移相调制等原理与关键技术。探讨了仪器的整体设计、装配与调试等各个过程中遇到的问题与解决方法,进行了可见/红外共光路的设计,提出了共光路调整技术并设计了红外干涉的初调系统,效果良好。文中还介绍了对PEV、红外激光系统等关
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