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电容式位移传感器由于具有结构简单、分辨率高、动态特性好、能实现非接触式测量等特点,在精密加工、高精度定位、超精密测量等领域得到广泛的应用。电容位移传感器的输出信号较小,而且输入输出特性存在一定的非线性,如何实现电容信号的提取以及对其输入输出特性进行有效的非线性处理就成了影响电容传感器性能的关键。本文基于调频式电容位移传感器输出信号的特点,对调频信号频率测量技术以及非线性校正技术进行深入了的研究,具体研究工作如下:首先,在对频率测量的方法进行归纳、总结的基础上,设计了以现场可编程门阵列