论文研发的薄膜复合制备方法与装置的控制系统充分利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发、离子注入等方法，为全方位注入沉积复合镀膜表面改性提供所需等离子体，使之可以根据不同的工艺要求设计膜体的成分结构，从而很容易获得不同的改性膜层，来提高膜体的硬度、抗氧化性及热稳定性等。 论文根据全方位注入沉积复合镀膜工艺要求，详细阐述了真空镀膜控制系统的总体设计方案及关键测控技术，同时，对控制系统中电磁兼容问题提出了详细的设计方案。 针对生产过程所需的真空环境，论文提出并采用变频控制技术保证其高真空度。对于真空环境下的掺气温度控制，由于其具有升温单向性、大惯性、大滞后、时变性的特点，很难用数学的方法建立精确的模型，本系统将模糊理论引入控制器的设计，提高了控制器的适应性能。对于不断变化的气体介质来说，其体积流量在温度、气压改变时，其实际气体的克分子流量将发生较大变化，而质量流量几乎不受温度、压力的影响，因此，本系统采用质量流量计来测量气体质量流量，质量流量控制器控制气体流量。 该控制系统采用现代控制手段，实现了镀膜工艺的生产过程计算机自动监控。该系统通过近一年的实际运行，结果表明其安全性能、稳定度达到设计要求。