【摘 要】
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随着半导体器件及集成电路工艺制造技术的飞速发展,国内半导体技术的发展和市场需求也越来越高。探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪器连接后,能自动完成对
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随着半导体器件及集成电路工艺制造技术的飞速发展,国内半导体技术的发展和市场需求也越来越高。探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪器连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯的电参数测试及功能测试。prober driver(探针台驱动程序)的设计与实现,使得用户可以通过软件界面控制测试设备,控制探针的的升降和移动,通过界面进行操作,既提高了控制精度,又使得控制更为方便。针对以上实际问题的背景,根据分析相关项目的客户需求,本论文将选取ACS项目中prober driver(探针台测试驱动程序)模块进行研究和扩展,设计开发一种针对不同半导体芯片测试的的探针台设备的驱动程序。不同型号的探针台设备单独与该驱动程序进行通信,调用通用函数实现各个模块的功能。本系统采用C语言进行开发,采用了模块化的设计思想,每一个功能模块与设备之间相对独立。根据不同设备的需求,调用函数实现功能。如此能够节省大量的资源和时间,大大简化了系统结构,便于程序的调用,修改和补充,具有很好的可移植性和经济性,能够适应不同的市场需求。本人负责该探针台驱动程序通用函数层、设备层及通信层的设计和实现,并编写测试用例对三层的功能模块进行黑盒及白盒测试。
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