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VO_2相变前后的光学开关特性可以应用在“智能窗”上，如何实现这一应用具有重要研究价值。本论文详细讨论了三种主要钒氧化物的一些重要特性，并结合反应磁控溅射的基本原理、反应过程及沉膜机理，设计了实验方案，并制备了16个试样。 制备的试样经XPS、XRD、SEM、AFM的检测分析，并应用ORIGINPro7.0软件对V_(2p3／2)的分峰拟合得出：沉积速率在1.06～2.22(?)／s之间有利于生成四价的钒，当沉积速率≤0.43(?)／s时，容易生成五氧化二钒；m(O_2