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AlInN的物性一般可通过改变组分的方法进行大跨度调节,并可与GaN等材料晶格匹配,因此AlInN是比AlGaN和InGaN更为优异的三族氮化物三元合金材料。然而制备高质量的AlInN是当前的一大难题。AlN/GaN和AlGaN/GaN超晶格是当前三族氮化物超晶格结构的研究热点,而AlN/InN超晶格研究几乎尚为空白。但AlN与InN在带隙与电学等方面的特性差异极大,使AlN/InN超晶格结构具有潜在的巨大应用价值。本文就如何提高AlInN质量和AlN/InN与AlN/GaN超晶格能带结构两