本论文合成了一系列烷基长链(甲基)丙烯酰胺和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物，通过~1H NMR和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物中单体比例及分子量进行了表征。研究表明，(甲基)丙烯酰胺在共聚物中的含量及其烷基链长度对共聚物成膜性能有较大影响，十六烷基(甲基)丙烯酰胺在含量较高时，在水面上能形成排列有序的Langmuir膜并可转移至不同材质的固体基片上，形成均匀的多层LB膜。BPhMA含量为30％的N-十六烷基甲基丙烯酰胺共聚物(2c(3))和BPhMA含量为20％的N-十六烷基丙烯酰胺共聚物(2d(4))LB膜经光刻、显影后均可得到分辨率为0.75μm的LB膜图形，2d(4)LB膜的分辨率在个别区域甚至能达到0.5μm。上述两种共聚物LB膜在紫外光照射下的光分解方式不完全相同，2c(3)光分解机理是分子主链和侧链在紫外光照射下同时断裂，而2d(4)则分两步进行，BPhMA中的酯首先光分解，然后是主链的缓慢断裂。以上述两种共聚物LB膜图形为抗蚀层，可将图形较好地转移至金、铜薄膜上，得到分辨率为0.5-0.75μm的金属图形。此外，利用AFM对图形的转移过程进行了深入的研究，发现LB膜在曝光过程中由于掩膜板和LB膜表面接触不充分而导致紫外光在它们之间的缝隙中发生衍射，使原来被掩盖的区域也部分感光，从而降低了这些区域LB膜的厚度，这种衍射对分辨率较高的区域影响尤其明显。通过对LB膜厚度的分析，我们发现2d(4)分子在LB膜中的取向更为有序，这是2d(4)LB膜图形分辨率更高的原因。最后，我们对LB膜的抗蚀性进行了定性分析，发现在同样条件下2c(3)LB膜的抗蚀性比2d(4)LB膜强。2d(4)LB膜虽然分辨率比较高，但它对紫外光敏感度较差，从节约能源的角度出发，2d(4)LB膜在应用方面将受到一定的限制。2c(3)LB膜具有较好的敏感性及抗蚀性，因此，可能作为一种纳米抗蚀材料在深紫外光刻中得到应用。