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共焦显微技术是一种用于微米和纳米尺度三维形貌测量的光学显微技术,具有独特的轴向层析能力,以其高精度,非接触,不损伤测量表面等优点,被广泛应用于微光学,微电子,生物工程等领域。随着科学技术的发展,三维微结构的测量尺寸逐渐从亚微米级过渡到纳米级尺度,迫切要求共焦系统横向分辨力的提高。本课题主要研究目的是解决共焦系统横向超分辨受限的问题,通过将径向偏振光照明用于共焦系统,利用径向偏振光的紧聚焦特性来提高共焦系统横向分辨力。在矢量衍射理论的基础上建立径向偏振共焦系统的理论模型,从理论上分析径向偏振共焦系统的