随着科技的进步，人们对于光学元件的需求也日益增大。低膨胀玻璃，以其超低的热膨胀系数及良好的光学性能广泛地应用在建筑，化工，航空航天工业、医疗仪器、电子工业和装备武器制造业等重要领域。然而作为一种硬脆材料，普通磨削对于低膨胀玻璃的加工效率较低，这对于大规模生产高质量光学元件而言是不能被接受的。旋转超声振动辅助磨削是一种新型高效的加工方法，既可以摆脱普通超声振动辅助磨削对于工件尺寸的限制，又使系统的整体刚度有了较大的提高。本文对两种低膨胀玻璃材料（微晶玻璃材料与ULE材料）的超声振动辅助磨削工艺进行了深入分析。　　首先对对树脂基金刚石砂轮的精密修整工艺进行了探究，通过普通修整与超声振动辅助修整的对比，揭示了旋转超声振动修整的特点，总结了一套合理的修整参数以实现低膨胀玻璃的超精密加工。　　然后通过压痕实验与刻划实验，揭示了两种低膨胀玻璃材料分别在动载荷与静载下的表现出的性质，总结了单个磨粒下材料的去除特点并推测了材料在旋转超声振动磨削辅助磨削下的加工性能。　　最后分别运用正交实验法与神经网络法对两种低膨胀玻璃材料的加工结果进行了分析，优化了工艺参数，并比较了两种实验方法在应用于本项目时各自的优点及不足之处。最终实现了低膨胀玻璃的高效率，高精度加工。