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针对军用测距系统中窄带滤光片的使用要求,综合分析常用的镀膜材料的光学性能与机械性能,优化膜系设计,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,成功制备出符合要求的窄带滤光片。在设计方面,使用双腔全介质窄带滤光片的基本膜系作为基础膜系进行优化改进;在材料方面,采用TiO_2与SiO_2的高低折射率材料匹配;在厚度监控方面,改进原有的光学控制方法来提高膜厚的控制精度;在制备方面,调整真空度、蒸发速率等工艺参数,采用离子源辅助沉积的电子枪蒸镀法。所镀膜层在垂直入射条件下,905nm波长透过