孔径测量是几何量测量中的一项重要内容,其特点是测量器具活动空间受到限制,操作调整不便,测量速度慢,特别是深小孔、盲小孔(直径在Φ3mm以下)的测量难度更大。电容传感器是基于非接触测量原理的一项技术,应用电容传感器测量小孔内径不仅测量时无测量力的影响;而且还可以获知深小孔、盲小孔内任意截面的形状误差。但是,电容传感微小孔径测量方法作为一项较新技术,仍需要对整个测量系统进行深入研究。在本文中,首先研究电容传感微小孔径测量系统的原理,分析了传感器测头中的保护环的最小长度b最小的确定问题,提出了Φ3mm左右的电容传感器的设计与制作方法;接着基于JYC-2005型电容测微仪组建了电容传感测孔系统、编写了测量软件,并对系统的误差进行了分析,给出了Φ3mm左右测孔传感器的标定方法;最后验证了测孔系统具有稳定的可靠性,长期测量时内径偏差可控制在2.3μm以下。本文就Φ3mm左右小孔内径的测量提出了一种成本较低廉、操作较简便的方法,为后续研究更小孔径的测量奠定了基础。