半导体桥等离子体温度的光谱法诊断研究

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本文基于原子发射光谱双谱线法原理,建立了一套等离子体温度诊断系统,并将该系统首次应用于半导体桥(Semiconductor Bridge,SCB)等离子体温度的测试。试验结果为进一步研究SCB点火和起爆的机理提供了理论和实验依据。论文的主要内容如下:(1)通过观察SCB的微观结构、表面形貌,以及进行SCB发火的光电测试,探讨了SCB等离子体的形成过程;利用高分辨照相机的ICCD,拍摄了不同延时下的等离子体影像,估算了等离子体的空间尺度,其最大尺寸约为2mm。(2)研究SCB等离子体在350nm~650nm波长范围内的原子发射光谱,依据谱线选择原则,选用两条合适的原子谱线:CuI 510.5nm和CuI 521.8nm,建立了原子发射光谱双谱线测温系统,该系统响应速度快,时间分辨率高达10ns。(3)引入多通道高速动态存储示波器,将SCB等离子体的两条原子发射谱线强度及SCB上的电压、电流随时间的变化同时记录下来,研究不同放电条件下,三种SCB等离子体的温度特性。结果表明:放电电压或充电电容越大,等离子体温度越高,等离子体的放电时间也越长;对于不同的SCB,当输入能量超过一定的临界值后,将产生等离子体后期放电;电压或电容越大,后期放电开始的时间越早,而后期放电开始时的等离子体温度,在不同的放电条件下变化并不大,不同的SCB均有其各自的温度变化范围。(4)在脉冲放电条件下,比较了电压、电容的改变对等离子体温度的影响;并研究了脉冲与直流两种放电方式下,等离子体的温度与放电电压的关系。
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