压电陶瓷执行器的精密运动控制

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随着高精度工业的快速发展,对于微米级甚至纳米级定位系统的需求变得越来越必不可少。压电陶瓷执行器由于有着纳米级定位分辨率、高刚度与响应速度快等特点而得到了广泛的应用。压电陶瓷执行器的非线性磁滞效应严重制约了其运动精度。为了解决这个问题,本文讨论了压电陶瓷执行器的位置控制和轨迹跟踪控制问题。首先,文中提出了一种基于部分模型信息的PID滑模控制方法。为了减小在平衡点附近的高频震颤,我们引入了一种饱和函数来代替符号函数。其次,考虑到实际情况中模型信息可能不容易获得,我们提出了一种完全不基于模型信息的PID滑模控制方法。最后,为了减少由于不基于模型信息而导致控制器参数过大的情况,通过自适应控制方法来估计系统未知参数的值,提出了一种完全不基于系统模型信息的自适应PID滑模控制方法。应用Lyapunov方法分析了上述三种方法作用下的闭环系统的全局渐近稳定性,并对所提出的控制方法进行了数值仿真,验证了其有效性。
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