【摘 要】
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微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作，在微装配、微操作等方面具有重要的作用。本文从微夹钳的设计方法着手，将宏观刚性机构类型综合方法和伪刚体模型的概念引入到微夹钳的设计中，设计出了多种新型微夹钳，并进行了制作工艺探索和测试研究。本文首先根据多种微夹钳驱动方式的对比，选择电热驱动作为本文微夹钳的驱动方式。然后根据电热微夹钳的特性，总结出设计电热微夹钳所需
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微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作，在微装配、微操作等方面具有重要的作用。本文从微夹钳的设计方法着手，将宏观刚性机构类型综合方法和伪刚体模型的概念引入到微夹钳的设计中，设计出了多种新型微夹钳，并进行了制作工艺探索和测试研究。本文首先根据多种微夹钳驱动方式的对比，选择电热驱动作为本文微夹钳的驱动方式。然后根据电热微夹钳的特性，总结出设计电热微夹钳所需要的机构的拓扑要求，引入伪刚体模型设计柔性机构的概念，结合机构类型综合方法设计出了八种微
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