随着全球环境污染和能源危机日益加剧,开发新型的环保能源越来越受到重视,新型热电材料因此引起了研究者们的兴趣。热电材料作为一种绿色能源,能有效的改善常规能源短缺以及由化石燃料引起的环境污染、温室效应等问题。本文研究了硅微通道板结构的热电特性,经过电镀铁和退火工艺得到β-FeSi2微通道结构,发现微通道结构的热电特性有显著提高。实验中的硅微通道板结构由光辅助电化学刻蚀工艺制得,微通道表面结构为正方形格子排列。文中对微通道结构的热电特性进行分析对比,发现其热电性能与晶格方向有关,当测试电极与晶格成角度0=45°时,其塞贝克系数为最大,并且在0为0°到90°之间,塞贝克系数关于45°表现出良好的对称性。文章从热电效应的原理出发,主要对硅基微通道的塞贝克效应进行研究,此外还试探性地研究了硅基微通道的珀尔贴效应,并对其热电效应的产生机制进行了初步分析。论文包括以下几个方面：第一章首先介绍了硅微通道板结构的应用,介绍了硅微通道板的制作工艺流程,并介绍了热电材料的研究现状以及本文所开展的工作。第二章从多孔硅的形成原理出发,介绍了硅微通道板的制造原理及其工艺过程,并讨论了影响硅微通道板结构的几个主要因素,包括电流密度、温度、偏置电压、刻蚀液配比等。第三章介绍了镀铁工艺,简述β-FeSi2微通道结构制作过程。第四章对硅微通道板结构的热电特性,主要是塞贝克效应和珀尔帖效应进行测试,并对测试结果进行分析讨论。第五章对全文工作进行总结,并对硅微通道板结构在热电方面的运用进行展望。