激光直写相关论文
现有主流光刻技术与设备变得越来越复杂的原因之一在于其仍然囿于线性光学光刻范畴，未能突破光学衍射极限，是衍射极限附近的光刻技术......
在微纳制造的发展过程中,人们追求越来越小型化的器件结构单元。为了满足制造这些器件所需要达到的加工精度,光刻技术的发展成为关......
在纳米激光直写加工系统中，显微物镜是其中的关键部件，行业发展的趋势是在大数值孔径下具有更大的物方视场，并且能适应TPP胶折射率的......
随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......
激光直写技术是一种基于双光子聚合效应实现真三维、无掩膜和非接触式的增材加工技术,双光子聚合是在超快激光作用下,材料发生双光......
随着健康监测和电子皮肤的发展,柔性可穿戴压力传感器正引起人们的广泛关注。然而,可靠、经济、高效地制备高性能压力传感器仍然是......
有机高分子光刻胶是双色光敏激光直写技术实现微纳制造的介质和载体，直接影响了其所制造微纳结构的精度、真实度等性能.采用聚乙烯......
激光直写技术作为一种新兴的低成本、高效、高精度的加工技术,可以适用于几乎任意自由度的二维或者三维微纳结构快速成型制备.这对......
激光直写是一种高效、可规模化制备柔性电子器件的技术.本文采用激光直写技术在具有良好介电性能的聚酰亚胺薄膜上制备了一种可用......
透明电极（TE）由于其独特的光电特性,近年来受到广泛的关注。透明电极可作为许多光电器件的基础材料,如太阳能电池、发光二极管（LEDs）、......
目前,微型化研究领域的最前沿科学研究和技术应用已经进入纳米时代。纳米尺度的功能结构具有特殊的力学、光学和电子学等特性,随着......
完美涡旋光束的涡旋半径与拓扑荷数无关,且携带有轨道角动量,这使得完美涡旋光束在光学通信、量子光学以及激光制造等领域被广泛应......
衍射光栅在各行各业有着广泛的应用, 这就要求光栅必须具有良好的质量。在制作大尺寸光栅的各种方法中, 激光直写技术具有明显优势......
利用边缘光抑制技术，设计并研制了一套双光束激光三维直写光刻系统。该系统含有高速扫描振镜和三维纳米压电平台两组扫描机构，可以根......
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出......
计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH 图案的绘......
为了精确地检测非旋转对称的非球面面形质量,将衍射补偿元件计算全息图(CGH)应用到非球面透射式检测光学系统中。利用计算全息图(C......
采用波长为1064 nm的光纤激光器对聚酰亚胺(PI)膜进行激光碳化工艺试验,研究了激光线间距与光斑直径、扫描速度与脉冲频率、激光功......
对电阻型柔性压力传感器的材料、制备和应用场景进行了简单阐述,重点介绍了通过引入微结构提升电阻型压力传感器性能的设计理念,分......
铌酸锂表面折射率的调控与表征技术是制作光波导、光频转换、电光调制等光电器件的重要支撑技术。激光直写和质子交换技术已广泛应......
目前,能源危机与环境污染是阻碍人类可持续发展的两大难题,而可再生无污染的氢能就成为了解题的关键所在,电解水制氢则提供了一条......
近年来,随着虚拟现实（Virtual Reality,VR）、人工智能（Artificial Intelligence,AI）领域的不断发展,智能穿戴与仿生探测设备的研究取得......
以石墨烯为代表的微纳结构由于其较高的比表面积和良好的导电性在传感、储能、传热和光电器件等领域应用广泛。传统石墨烯制造方法......
基于可穿戴设备在人机接口、医疗健康、运动娱乐、机械骨骼、电子皮肤等领域的广阔应用前景,近年来关于柔性材料与可穿戴器件的研......
微细电解加工（Electrochemical micromachining,ECMM）是基于电化学阳极溶解原理,以离子形式蚀除材料,是一种极具潜力的表面织构加工......
表面增强拉曼散射(SERS)光谱学作为一种重要的传感技术,具有多方面的独特优势,例如灵敏度高、特异性强、测试速度快、适用物质范围......
利用紫外光诱导还原金属前躯体硝酸银(AgNO3),直接在聚乙烯醇(PVA)薄膜中生长银纳米颗粒,成功制备出PVA/Ag纳米复合材料薄膜。利用......
提出了一种基于4f成像系统和衍射光栅结构的连续变频技术,利用该技术设计并制造了一套三维(3D)图像激光打印系统,可实现幅面为15cm......
微图形的制备在现代电子工业中占有重要的地位,微图形结构本身能够直接作为功能器件用于电子器件、探测器、反应器等方面,还能够作......
微流控芯片是一种由微通道形成网络，集成了生物检测和化学分析领域中各种基本操作单元的微型实验室分析平台，可代替常规生物化学实验......
该文介绍了二元光学的发展状况以及制作二元光学器件的主要方法,特别对激光直写技术和光刻技术进行了详细的分析和研究.该文研究了......
二元光学技术已广泛应用于各个领域。在光学信息存储、记录和处理、光学互连、多通道光学信息处理系统及多目标图像识别系统等领域......
自二十世纪末,随着数字技术的发展,全息术也进入了新的发展阶段。其中在显示全息领域,随着计算机控制、图像处理、空间光调制器等......
亚波长激光直写技术可用于亚波长结构器件的制作，亚波长结构器件可以用在高分辨成像、航天器和航空器的精确导航、地球及天体引力测......
液晶显示器以其体积小、功耗低、零辐射、图像还原度高等优点,逐渐取代显像管显示器,成为显示器的主流。液晶显示器本身不能发光,......
近年来激光直写布线技术广泛应用于各种微电子器件制作及其电路板的制作与修复。它具有快速灵活,适应性强,加工精度高,成本低廉,绿......
本论文主要对飞秒激光加工微光学元件进行了研究.建立了两套飞秒激光直写系统并利用所建系统加工微光学元件.两套系统分别是飞秒倍......
微角锥阵列是由大量角锥单元组成的，每一个角锥单元都包含了三个相互垂直的反射面。微角锥阵列在测距、交通标志等方面已经得到了有......
中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室在飞秒激光诱导微纳功能结构研究方面取得新的重要进展,研究发展了一种新的计算......
介绍了一种基于激光直写的电路板柔性布线方案。给出了其系统硬件组成,重点阐述了Micropen浆料泵送单元,最后简单的介绍了系统控制......
高精度激光直写技术是光、机、电综合运用的前沿技术,广泛应用于精密仪器、设备等高新技术领域.而减小电控误差是凹球面激光直写技......
