表面形貌测量及评定技术,是发展机械科学、表面科学、材料科学、生命科学以及微电子技术所必须的重要技术。本文在对国内外关于表面形貌测量及特征评定研究现状与发展进行分析的基础上,论述了作者对表面形貌特征评定理论与方法的研究成果。主要研究内容与成果如下:建立一个表面测量分析系统,不仅能够对工件表面的采样信号进行传统的二维参数计算,还能进行三维参数的计算,再结合我们对表面采样信号所进行的其它分析,如频谱,小波分析,分形,图像表征等,能够较完整地描述分析加工表面的形貌。探讨了表面测量及评价中常用到的时频域分析方法,以及先进的小波和分形方法,通过小波的分解和重构成功将原始轮廓信号中的形状误差,波纹度和粗糙度进行分离,并将分形理论与表面测量评定相结合,提出分形维数D是一个综合反映表面复杂程度的参数,是评价表面特性的又一重要指标。利用TR200粗糙度仪对金属及陶瓷磨削加工表面进行测量,利用自行设计的表面测量分析与处理系统,在磨削表面测量实验的基础上,初步研究了陶瓷材料磨削加工表面特性,初步建立了一套针对陶瓷磨削表面的测量及评价体系。