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光栅尺由于具有精度高、不易受环境干扰、体积小、操作方便、成本不高等优点而被广泛地作为超精密测量工具之一。对准精度是增量式光栅尺的重要指标,所以如何提高对准精度是光栅测量技术发展的一个重要方面。本文设计了一种双光栅零位对准系统,双光栅包括标尺光栅和扫描光栅。设计了双光栅结构和光路结构,然后通过设计相关电路进行光电转换和数据采集得到基本的输出信号,设计算法对信号进行滤波处理,实现了在较大工作距离(≥20mm)的前提下达到微米级的对准精度(≤1μm)。课题的主要研究内容如下:首先,利用相关理论,设计了标尺