本论文介绍了扫描电子束曝光机图形发生器的总体方案、系统设计、硬件实现和软件编程等，提出了一套完整的图形发生器硬件方案，并完成了图形发生器接口的设计。本论文中的新型图形发生器由接口电路、双端口存储电路、数字信号处理电路、数模转换电路、曝光／标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路构成。论文研究了TI的通用型浮点数字信号处理器TMS320VC33的功能，根据课题的需要和DSP处理器的特点及结构，从硬件方面对图形发生器的数字信号处理单元进行了研究。通用串行总线是近年来在科研应用中使用比较广泛的产品，大有取代传统串口的趋势，和以往的接口方式相比，在结构、功能以及调试上都有很大的不同。本论文通过系统设计和分析，对其功能进行了比较详细的介绍。论文着重从图形发生器的硬件入手，研究了图形发生器的工作原理以及各个单元的配合和功能实现。