论文部分内容阅读
采用ΣΔ调制技术实现加速度计的闭环反馈,不仅结构简单,带宽高,易于采用CMOS工艺实现,同时也得到了直接的数字输出,所以ΣΔ调制技术是实现数字传感器最好的方式。本论文在全面分析各种ΣΔ调制加速度计系统的基础上,建立了二阶及四阶闭环ΣΔ调制加速度计系统的系统模型,设计出了相应的接口电路实现这些系统。闭环ΣΔ系统是一个非常复杂的混合信号反馈系统。结构部分构成一个二阶低通滤波器,因此可以很方便的实现一个二阶的闭环ΣΔ系统。在这个系统中,接口电路需实现电容到电压的转换,信号放大及相位补偿。信号经