绒面ZAO透明导电膜电极硅薄膜太阳能电池制备

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【摘要】

：

本文利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂Al 2wt%的Zn:Al合金靶为靶材,制备了用于硅薄膜太阳电池的绒面ZAO透明导电薄膜。研究了氧流量、衬底温度、溅射功率和工作压力等沉积条件对平面ZAO薄膜电学、光学、以及结构特性的影响。结果表明:当氧流量不变时,衬底温度为220℃,溅射功率为80W,工作压力332mPa时,薄膜电特性最佳。制备出的ZAO薄膜的方块电阻为9?,电阻率为6.31×10-4?cm,

【作者】

：

段苓伟

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

中频脉冲磁控溅射绒面ZAO薄膜制备工艺太阳能电池

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