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作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获得了在该实验室条件下硅腐蚀的基本数据和凸角补偿公式,加工出微型双端固支硅梁,实现了硅片的高温和常温静电键合,为后续研究创造了良好的实验条件.
微传感器与微机器人研究
【摘 要】
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作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获得了在该实验室条件下硅腐蚀的基本数据和凸
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2001年期
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