含镓和镉纳米复合氧化物的制备及其气敏性能研究

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近年来,半导体气体传感器因其独特的优势而被广泛应用在很多领域,而不同形貌的半导体材料会使其比表面积和晶面暴露有所差异,致使材料表现出不同的气敏性能。本文以硝酸镓和硝酸镉为原料,制备了片状CdGa2O4、球状CdGa2O4和米粒状CdO-CdGa2O4复合材料,用X射线衍射、SEM、HRTEM、X-射线光电子能谱、红外光谱等手段对材料进行了表征。全文共分为四章:第一章:主要介绍了气体传感器的分类、应用领域、性能指标及改进方法,还对纳米材料的性质和制备方法、尖晶石型复合金属氧化物的晶体结构和应用做了简要介绍。第二章:采用微波-煅烧法制备了平均直径在500 nm-1μm的片状CdGa2O4纳米材料,研究了不同前驱体沉淀p H(8、9、10和11)对气敏性能的影响,结果表明该材料对甲醛和乙醇的灵敏度较高,当前驱体沉淀p H为9时,对乙醇的灵敏度最高,在110°C对100 ppm乙醇的灵敏度为196,检出限为0.01 ppm。前驱体沉淀p H为10时,在110°C对100 ppm甲醛的灵敏度为316。对100 ppm甲醛响应时间为5.4 s,检出限为0.1 ppb。第三章:采用溶剂热-煅烧法制备了平均直径在1μm的球状CdGa2O4纳米材料,实验结果表明热处理温度为600°C及以上才可以形成CdGa2O4纳米材料。研究了热处理温度为500°C、600°C、700°C、800°C和900°C(5 h)对气敏性能的影响,当热处理温度为700°C时,元件在最佳工作温度140°C时对100 ppm甲醛的灵敏度为99,对其余十种气体的灵敏度都在7以下,对甲醛的检出限为0.1 ppb。第四章:采用一步煅烧法制备了长100-200 nm,宽约50 nm的米粒状CdO-CdGa2O4复合纳米材料。研究了热处理时间为1 h、3 h、5 h、7 h和9 h(700°C)对气敏性能的影响,当热处理时间为5 h时材料对甲醛和乙醇的灵敏度明显高于其它气体,在最佳工作温度110°C对100 ppm甲醛和乙醇的灵敏度分别为2000和946,对1 ppm甲醛的灵敏度在二十天内都保持在300左右,对甲醛具有检出限低(0.01 ppb)、响应时间(10 s)短、和重复性好(100 ppm和0.01 ppm)等优点。
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