本文介绍了一种利用旋转体自身旋转角速度作为驱动力、通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。它没有普通硅微机械陀螺的驱动部分，而是利用旋转载体的旋转作为驱动，这样就大大简化了陀螺的结构，降低了加工制作的难度，也降低了制作成本。 本文着重介绍该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作、封装和性能测试，建立该陀螺的动力学模型，并用有限元分析，进行计算机建模、仿真；使用体微机械加工工艺(Bulkmcromachining)和深度湿法刻蚀(DWE)工艺来制作硅摆，追求大质量块和低应力；对陶瓷进行加工，用物理气相淀积(PVD)方法在高真空磁控溅射仪中对陶瓷和硅摆溅射镀膜；并在氮气气氛下封装陀螺；用仿真器测试了陀螺的信号输出。模拟试验和性能测试表明，该陀螺结构原理正确，可用于敏感旋转载体的偏航或俯仰角速度，以及旋转体自身的角速度。