掺铝氧化锌薄膜的相关特性研究

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【摘要】

：

近年来,由于Al掺杂ZnO薄膜具有与ITO薄膜相比拟的光电性能,又因其原料丰富、价格低廉以及在氢等离子体环境下稳定等优点,已经成为透明导电薄膜领域的研究和应用热点之一。将表面织构后的ZnO:Al(AZO)薄膜代替SnO_2薄膜作为微晶硅薄膜太阳能电池的前电极得到越来越广泛的关注。为此本文分别利用直流脉冲反应磁控溅射(DCP-sputtering)和直流磁控反应溅射(DC-sputtering)技术

【作者】

：

林清耿

【机构】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

氯化铵溶液掺铝氧化锌薄膜表面织构电学特性光学特性

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