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为了抑制光栅机械刻划过程中颤振的发生,提高光栅质量,本文对光栅机械刻划颤振机理进行了研究。首先,从形成系统不稳定性的着眼点对光栅机械刻划摩擦型颤振机理进行了分析研究,针对金刚石尖劈刀和弹性刀架建立了振动系统的动力学模型,对竖直z向振动进行了具体的稳定性分析,得出了振动系统的稳定性条件；并从能量的角度对颤振进行了研究分析,并且得到了相同的稳定性条件。然后,通过MATLAB/Simulink建立了光栅机械刻划颤振仿真模型,研究分析了各动力学参数及刻划工艺参数对颤振的影响规律,并提出了抑振措施。应用ANS