光刻机是IC制造中最为核心也是最为复杂的装备，国家制定了长远的科技计划，对光刻机进行研究，为了配合光刻机精密运动控制系统的研制，本文就应用于光刻机运动控制系统辅助测试的光纤数据传输系统进行了研究和开发。系统通过高速光纤接口从运动控制卡中接收数据，然后通过PCI总线将这些数据发送到PC中去，由PC对数据进行分析和处理。光纤数据传输系统由光纤接口、PCI总线接口和用于控制和时序转换的可编程逻辑控制器三个部分组成。光纤接口的物理链路部分使用光电转换模块进行光电转换，使用SERDES进行收发数据的串并转换和接收数据提取与时钟恢复。PCI总线使用专用的接口芯片，将复杂的、难以处理的PCI总线时序转换成简单的、易于处理的本地总线时序。FPGA在光纤接口处进行数据编码解码和传输控制，实现光纤传输的链路层功能，在PCI接口处对PCI专用芯片的本地总线的时序进行解析，同时进行整个系统的时序转换和功能控制，完成整个系统的中断控制。本文首先对基于PCI总线的光纤数据传输系统的方案进行确定，然后进行系统的原理分析和硬件电路设计，接着进行可编程逻辑控制器件的程序开发，之后在Windows操作系统下进行PCI接口的驱动程序开发，最后对硬件板卡进行调试，对整个光纤数据传输系统进行测试。测试结果表明，光纤数据传输系统已经实现通过光纤接收运动控制卡的数据，然后将数据通过PCI总线发送到PC中去，光纤传输速度为1.25Gbit/s，24小时没有误码，PCI接口速度满足运动控制卡的数据传输要求。目前，系统板卡已经在十一五国家重大专项项目系统中进行使用。