透明导电薄膜作为一种特殊的物质形态，目前已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、材料表面改性、传感器装置、太阳能电池、液晶显示器等新兴交叉学科的重要材料研究基础，并且在当代科学技术前沿的各个领域中得到了广泛的应用，尤其是对于高新技术领域来说，其应用也非常广泛。Al掺杂ZnO（ZnO：Al，简称ZAO）薄膜，不仅具有与ITO薄膜相比拟的透明导电性能，而且还具有原材料丰富、廉价、无毒等优点，并且比ITO更容易腐蚀，更为重要的是在氢等离子体的环境中能稳定存在，从目前的趋势来看，已经替代ITO薄膜，成为透明导电薄膜研究的热点之一。ZAO薄膜制备的方法有很多种，其中包括真空蒸发法、磁控溅射法、脉冲激光沉积法，分子束外延法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法等。溶胶-凝胶法是一种廉价的方法，无需复杂昂贵的真空设备，工艺技术简单；组成结构在分子的水平上就能够控制；成膜均匀性好，结晶温度低；可以大面积成膜。本文采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备ZAO薄膜。选取二水合乙酸锌作为反应前驱体，单乙醇胺作为稳定剂，乙二醇甲醚作为溶剂，九水合硝酸铝作为掺杂剂制备均匀澄清溶液。采用旋转-涂敷法在玻璃衬底上镀膜，经干燥、预热处理、后热处理等步骤，最后制备出透明、导电的ZAO薄膜。采用紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔效应仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜等对ZAO薄膜的微结构和光电性能进行研究。结果表明所制备的ZAO薄膜均为六方纤锌矿结构，呈较高度c轴择优取向，薄膜表面较平整。在可见光范围内透射率均达到85%以上，电阻率最好达到10~2Ωcm。同时分析了Al3+掺杂量，退火时间等工艺参数对ZAO薄膜的光电性能和微结构的影响。用弱酸氯化铵溶液对ZAO薄膜进行表面改性，观察改性后的光电性能和微结构。