固态等离子体天线是近年来新兴的研究方向，与传统金属天线相比，固态等离子体在天线可重构和隐身方面具有极大的优势，在无线通信领域具有良好的应用前景。　　本文首先介绍了与固态等离子体天线相关的基本理论，包括等离子体理论、半导体理论以及天线理论等;然后分析了固态等离子体器件S-PIN二极管的基本原理，并对其结构参数进行设计，通过仿真得出其载流子浓度分布;对三维的S-PIN器件结构与光控固态等离子体器件进行了设计与特性研究，并对其优缺点进行了分析对比。　　本文设计了固态等离子体微带贴片天线与3×5侧馈等离子体阵列天线，实现了天线的重构与隐身特性，并对天线相关结构参数进行优化;提出并设计了一种3×3固态等离子体相控阵天线，与3×5侧馈等离子体阵列天线相比，具有相位可调、功率可控等优点。　　本文对固态等离子体天线器件制备所需的半导体工艺进行了介绍，并依据基本的半导体工艺设计了固态等离子体天线器件S-PIN二极管的制备流程，并对相关的工艺过程进行了研究，为实验制备S-PIN二极管器件提供参考。　　本文从理论研究出发，对固态等离子体器件S-PIN二极管及天线阵列特性分别进行了计算与模拟研究，实现了天线的重构与隐身特性;探索固态等离子体器件制备工艺，得出可行的制备工艺流程与实施方案。