基于PLZT的波导电光器件具有驱动电压小、功耗低、偏振不敏感等优点,成为集成光学领域的研究热点。作为PLZT波导电光器件的核心,PLZT光波导薄膜的质量将直接影响其器件的性能。具有较低传输损耗的PLZT光波导薄膜的制备具有重要意义。本文采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,针对PLZT光波导薄膜的制备工艺进行了研究。首先,基于当前普遍采用的金属醇盐法,对PLZT光波导薄膜的制备工艺进行了研究。针对前驱体种类、环境湿度、热处理工艺等因素的确定进行了详细的讨论,采用优化的工艺条件获得了表面均匀平整、致密性较高的双组分PLZT光波导薄膜。由此制作了PLZT脊形光波导,并实现了波导通光。其次,为了进一步降低成本,我们采用无机盐取代金属醇盐作为溶胶的主要原料,对PLZT光波导薄膜的制备工艺进行了研究。针对溶胶体系、环境湿度、热处理工艺等条件进行了优化。采用优化的工艺条件获得了厚度4.6μm左右的双组分PLZT光波导薄膜,表面均匀平整,致密性较好,从而为PLZT光波导薄膜的低成本制备提供了依据。