工作于太赫兹波段的器件多以硅为界面,由于硅与自由空间的阻抗不匹配,造成了 30%的反射,导致了不必要的法布里-珀罗干涉条纹,从而需在硅的界面加入一层性能良好的增透膜。传统的四分之一增透膜大都以超薄金属为材料,虽可以很好地实现低反射效果,却存在着涂层过厚、损耗大和反射频段固定等缺点。超材料具有奇异的电磁特性,可以很好地克服上述缺点,故可将超材料应用于太赫兹增透膜制作领域。关于太赫兹超材料增透膜的现今研究有限,且都集中于实现单波段的超低反射。然而,实际的应用中往往会产生多波段同时低反射的需求。基于此,本文提出了两种不同结构的双波段太赫兹超材料增透膜:(1)提出了一种双波段太赫兹超材料增透膜结构,该增透膜采用层叠结构,即由两层金属—聚合物构成。通过数值计算两层金属表面之间的电场分布,分析了两波段超低反射产生的机理。通过优化聚合物层的厚度与金属单元结构的尺寸,实现了在0.47 THz和1.56 THz两个波段的超低反射,反射率最低分别为0.28%和0.25%,反射率在10%以内的带宽分别可以达到0.26 THz和0.21 THz,容差特性为±4%。并通过与单个金属结构进行对比,分析了采用层叠结构的优势。(2)提出了一种基于单层结构的双波段太赫兹超材料增透膜,该结构仅由一层金属-聚合物构成,金属图案简单。通过数值计算金属表面的电场分布,分析了双波段产生的机理,且通过数值计算金属表面的电流,得到了在第二个反射抑制谷处的等效电路,进而计算出了谐振频率。基于此谐振频率及增透膜的基础理论,在综合考虑反射率和带宽条件下,通过优化聚合物厚度和金属尺寸,实现了在0.57 THz和2.37 THz两个波段的超低反射,反射率最低分别为0.49%和0.096%,反射率在10%以内的带宽分别可以达到0.33THz和0.19THz,损耗低至20%,容差特性高达±6%,具有偏振不敏感性。该结构的双波段实现机理与层叠结构不同,为多波段太赫兹超材料增透膜提供了更多的设计思路。