金刚石线锯切割技术以其效率高、切割速度快、精度高等特点在硅片切割领域已经逐步取代了游离磨粒线锯切割技术。然而在金刚石线锯切割多晶硅过程中,由于多晶硅晶体结构复杂,造成切割后多晶硅片表面质量差,提高了后续加工成本。为了提高切割液润滑冷却效果,改善切割质量,论文采用静电喷雾式供液代替传统的浇注式供液,应用于金刚石线锯切割。主要对待进入切割区域的荷电液滴的动力学特性、不同雾化参数下荷电液滴在金刚石锯丝表面的吸附特性和两种供液方式下金刚石线锯切割实验等方面进行了研究。(1)对进入切割区域前的荷电液滴进行了受力分析,建立其动力学模型。力学分析表明:影响荷电液滴的动力学行为的物理量有荷电液滴直径、速度和带电量,电场强度、气体速度,这些物理量是由雾化参数(荷电电压、雾化气压、供液流量)综合决定。(2)根据待进入切割区域的荷电液滴的动力学分析,建立仿真模型,设计荷电液滴吸附仿真方案,通过COMSOL Multiphysics有限元仿真软件探究了不同雾化参数对荷电液滴在锯丝表面吸附的影响。仿真结果表明:在一定程度上提高荷电电压、雾化气压、供液流量有助于提高切割液在锯丝表面的吸附量,且过大的雾化气压不利于荷电液滴在锯丝表面的吸附。(3)搭建静电喷雾切割液吸附实验装置,进行了荷电液滴的吸附实验。结果表明:随着荷电电压和供液流量的增加,锯丝表面吸附的切割液逐渐增加;随着雾化气压的增加,锯丝表面吸附的切割液先增加再减少。吸附仿真与实验对比结果表明:不同影响因素下,虽然实验测得的荷电液滴吸附质量与仿真结果有一定差异,但其变化规律一致。(4)结合静电喷雾系统与WXD170往复型金刚石线切割机,搭建了静电喷雾金刚石线锯切割实验平台,进行浇注式供液和静电喷雾式供液下的金刚石线锯切割实验。实验结果表明:荷电电压是影响切割质量的主要因素,且切割质量随着荷电电压的增加而提高;当气压从0.14 MPa增加到0.2 MPa时,切割质量先提高再下降;流量的增加能够提高切割质量,但是存在饱和值。当雾化参数分别为-6 k V,0.16 MPa,2.5 ml/min时,静电喷雾金刚石线锯切割质量最好,与浇注式相比,崩边宽度降低了45%,表面粗糙度降低了24%。