MEMS(Microelectronic Mechanical System,微机电系统)技术日趋成熟,其光学透明性强,体积小,集成性强和便于大规模生产等特点都使其在光通信领域有着很大的发展潜力。本文分别对基于MEMS技术的可调激光器和光开关,进行新的设计和改进,使之更好地与目前的光通信系统结合。通过分析MEMS可调激光器的原理,联系目前MEMS可调激光器设计和实验,总结了影响连续可调谐的原因。通过对跳模原理的分析,得到了利用跳模来实现0.8nm跳模间隔的可调激光器的设计参数,使其应用到WDM系统中。基于传统的光栅选模,提出了一种新的后腔镜结构,进行了理论推导求出后腔镜的轨迹,并进行具体数值计算,确定了光栅周期、器件间距离等具体光学设计参数,可以实现至少在光通信C波段范围1525～1565nm范围内连续可调谐,并且可以扩展到S和L波段。该结构把转动调谐转化为平动调谐,加强了调谐的可靠性,位移对波长的调谐精度为0.7μm/nm,具有非常高的调谐的稳定性。通过分析影响MEMS光开关插入损耗的原因,抓住了目前研究中制约MEMS关开关发展的架构问题,通过归纳推导,提出了两种新的4×4开关的架构,仅使用5个开关单元实现4×4开关功能,理论上插入损耗降至1.8dB以下,具有很高的通道均衡性,响应速度在43μs左右,并进行拓展性研究,给出了两种8×8的拓展开关架构。