掩模板相关论文
阐述数字微镜技术，基于数字微镜器件的光刻机特性，包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD，探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。......
用传输矩阵法从理论上计算了取样光纤布拉格光栅的反射（传输）谱特性，提出了几种提高其谱特性的调制方案。用取样掩模版一次成栅的方法......
提出了一种利用均匀相位掩模板制作啁啾光纤光栅(FBG)的方法。在对光纤的扫描曝光过程中,相位掩模板沿长度方向周期性抖动,且抖动......
太赫兹成像是太赫兹技术的一个重要分支,在无损检测、安检和生物医学等领域发挥着重要作用。太赫兹探测器是太赫兹成像系统的核心......
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
按照高斯型渐变反射率镜(GRM)的参数要求,采用了中间层厚度渐变的方案对膜系和掩模板形状进行设计.根据薄膜的实际需求和具体的沉......
本文提出一种用一块单极性掩模板表示双极性互连矩阵的偏振编码方法。并用二种非相干光电混合系统分别实现了二阶互连神经网络。最......
概述了国内外长周期光纤光栅的制作方法、长周期光纤光栅温度应力特性和在通信、传感领域内的广泛应用，并且对各种制备工艺进行了比......
分析了体全息存储系统输入器件(空间光调制器)与输出器件(电荷耦合器件)空间相对位置对信号匹配效果的影响,总结了信号输入、输出......
提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的......
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该......
借助基于4F成像系统的掩模版模拟SLM实验,在国内首次实现1000×1000高分辨率数据页输入-输出像素一对一匹配的基础上研究了体全息......
在分析四象限光电探测器工作原理的基础上，提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置......
FIB的背景编辑修改初次流片芯片是降低芯片研发费用的一个标准方法.采用这种做法主要有两个原因,一是修补设计错误和模拟掩模板修......
在遥感、军事侦察和医疗成象等领域,需要得到目标的高分辨率图像.而像面离焦直接影响了成像质量、降低了空间分辨率.为了得到高分......
要提高掩模板设计的效率和准确率,实现信息提取的自动化是关键。从芯片代工厂（Foundry）的掩模板设计标准流程出发,对于各步骤涉及的......
针对内壁微结构加工技术中机械振动加工、激光加工等均为逐点加工,加工效率低,以及由机械或高热主导的材料去除过程存在“翻边”和......
在光纤光栅的刻蚀平台中引入精密移动电机,控制相位掩模板的移动,从而在光纤光栅的刻蚀过程中,在光栅的固定位置引入相移量,采用此......
Toshiba,TEL以及日本的一个新的国家级开发项目是通过重新设计整个半导体生产过程,开发出更好的方法以便于更快地生产出成本低,体......
本文提出了用于步进啁啾光纤光栅制作的相位掩模板的原理和设计;最后,作为在OCDMA编/解码器中的应用,阐述了对步进啁啾光纤光栅进......
在激光的传输光路中加入掩模板,采用纳秒脉冲激光对水下靶材进行了掩模微细刻蚀加工,与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率,......
在P型晶体硅太阳电池转换效率提升接近极限的情况下,N型晶体硅太阳电池因少子寿命长、光致衰减小、对金属污染的容忍度高等优点,在......
掩模板在高密度基因芯片的探针合成过程中起着重要的作用,由于其制造工艺复杂、造价较高,因此在不改变探针合成结果的条件下,需要......
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜......
提出了一种测量异常涡旋光束的拓扑荷的方法。在接收孔径之前放置一个特殊样式的掩膜板,通过接收平面的光强图来分辨异常涡旋光束......
针对陶瓷阀芯表面缺陷特征复杂、啮合表面存在研磨抛光区域等问题,现有基于视觉检测的陶瓷阀芯表面缺陷检测算法对不同种类陶瓷阀......
自雨云7号上的海岸带水色扫描器(CZCS)1986年中断发送数据七年多之后,宽视场海洋观测探测仪(SeaWiFS)将是第一颗海洋水色卫星。CZC......
为了满足先进电路图象分辨率高、各层间对准和线条宽度控制精确的要求,光刻系统研究计划用几种方案。除了努力扩大现用光学系统的......
目前光纤通信已成为通信领域最为活跃的技术之一，它与卫星通信、移动通信共同构成现代通信技术的三大主要发展方向。随着各种通信业......
随着全球通信业务量的飞速增长，光通信系统和网络对带宽和容量的需求也不断提高，波分复用技术可以实现大容量和多功能，因此在网络业务......
