能源的紧缺使得太阳能开发利用受到日益广泛的关注,太阳能级硅片的制造工艺是当前国内外研究的热点。硅片电火花线切割制绒技术是基于火花放电的原理对太阳能级硅片进行制绒,制绒性能和材料的导电性及热物性有关。在硅片表面形成的由放电凹坑形成的绒面结构,可以达到光陷阱作用和减反射效果,放电凹坑的深径比越大其陷光作用越明显,深度越小硅片强度越高。通过电参数的控制对硅片绒面质量进行控制。所形成的放电凹坑与材料的各向性能无关,因此该工艺方法将特别适合于多晶硅材料的绒面制造,减少了原来绒面制造过程中所产生的化学污染,开辟一种新型的太阳能电池硅片绒面制造方法,具有十分重大的理论和现实意义。本论文通过仿真分析和实验验证对硅片的电火花线切割制绒工艺进行详细研究,深入分析了不同电阻率硅碇的放电制绒的可能性。通过改变脉冲电压、脉宽、占空比、工作液、进给速度、走丝速度对制绒效果规律进行研究。本文的主要工作:1、提出了一种新的太阳能硅片制绒技术。有限元分析方法建立传热模型并进行传热机理分析。2、设计一套电火花线切割制绒专用夹具,设计合理的硅片定位、夹紧、进电方式、制绒后硅片的取出方案,为制绒工艺方法的完善奠定了技术基础。3、验证各种不同电阻率硅碇的放电制绒的可行性,设计了一套脉冲控制发生电路以用于硅锭的放电研究。利用改进的电火花线切割机床对太阳能级硅片制绒规律进行研究,所制得绒面具有良好减反射率效果。