【摘 要】
：
功率半导体是是电子电力领域的重要元器件,在全场景的控制系统中都扮演者重要角色。技术推进到现在,VDMOS凭借其输出功率大、开关速度快、工艺成熟度高得优点占据着主流的位置,并且还具备不俗的上升空间。我国经过多年艰苦攻关追赶,取得了一些成果,但同国外尖端技术差距依然不小。当应用于涉及国家安全的军事航天领域,VDMOS应当保证在强辐射环境中不失效,不影响航天器正常的工作,需要具备相应的抗辐照能力。在此领
论文部分内容阅读
功率半导体是是电子电力领域的重要元器件,在全场景的控制系统中都扮演者重要角色。技术推进到现在,VDMOS凭借其输出功率大、开关速度快、工艺成熟度高得优点占据着主流的位置,并且还具备不俗的上升空间。我国经过多年艰苦攻关追赶,取得了一些成果,但同国外尖端技术差距依然不小。当应用于涉及国家安全的军事航天领域,VDMOS应当保证在强辐射环境中不失效,不影响航天器正常的工作,需要具备相应的抗辐照能力。在此领域我国面临严重的产品和技术封锁,与国外有近二十年的差距。自主设计基于国内工艺线的抗辐照高压VDMOS器件,填补市场空白提升国产化率具有重大意义。文章介绍了抗辐照VDMOS在国内外的发展现状,指出我国现在面临的艰难局面。通过详细阐述VDMOS的基本结构和工作原理,剖析主要的性能参数,为高压抗辐照N沟道耗尽型VDMOS设计研发打下理论基础。课题的研发工作同工艺线合作,提出一套基于普通商用工艺线水准的抗辐照耗尽型VDMOS的工艺流程。这是一套基于非自对准工艺调整而来的后栅工艺流程,核心是体硅工艺结束后,去除表面氧化层重新淀积场氧,刻蚀出有源区后在1000℃重新生长高质量氧化层作栅氧,之后不再有高温工艺。对淀积多晶硅、ILD隔离层、钝化层等对总剂量效应影响较大的工艺模块,结合工艺线的实际情况优化可动离子的消除和监控,完成了抗辐照加固。仿真验证表明此套工艺生产的器件具备100Krad(Si)的抗辐照能力,阈值电压能够保持在指标要求之内。接着运用仿真完成了器件设计。为此,文中详尽的介绍了仿真的思想方法,说明了网格的设置,物理模型的选择,和不同性能参数的仿真方法。依照提出的工艺流程,用Sentausus拉偏调整外延层厚度和掺杂浓度,多晶硅栅宽,反型注入剂量,Pwell参数,通过综合考虑击穿电压、阈值电压、特征导通电阻的仿真结果,选择最佳数值。设计出符合指标的元胞,击穿电压为725V,阈值电压-1.4V,特征导通电阻11.9Ω·mm~2。还设计了相应的三环场限环结构,击穿电压737.2V,各环承担电压近似,电场分布均匀。最终完成了版图设计。本文结合了工艺线的实际水平,提出了工艺流程,研发了一款600V抗总剂量辐射效应N沟道耗尽型VDMOS,并分享了整个设计过程的思维路径,对后续优化改进或新品研发提供了经验技术平台。仿真结果表明器件设计完全符合需求指标,对打破国际垄断,早日实现国产化自给自足具有一定的意义。
其他文献
目的通过检测并分析神经型布鲁氏菌病患者外周血清及脑脊液中IFN-γ、TNF-α、IL-10炎性细胞因子的表达水平,探讨IFN-γ、TNF-α、IL-10炎症因子对神经型布鲁氏菌病患者中枢神经系统细胞免疫功能的影响,为临床上神经型布鲁氏菌病的早期诊断与治疗提供思路,并为深入研究该病的发病机理提供理论基础和依据。方法收集2018年1月至2019年12月期间在内蒙古医科大学附属医院和内蒙古自治区综合疾病
“天下兴亡，匹夫有责”是中华民族自古以来的优秀品质。近代以来，面对国家的内忧外患、民族危亡，中国人民奋起抗争，为中华民族的兴盛抛头颅、洒热血，用拼搏、奋斗的心血与汗水诠释了使命担当精神。作为中华民族精神的重要组成部分，担当精神深深扎根于中华优秀传统文化、革命文化和社会主义先进文化之中，是一代代仁人志士为改变民族厄运，主动承担责任、促进国家进步、实现国家独立和民族富强的品质与气魄，是有效破解落后挨打
在石油开发和生产的中后期,剩余油的合理开发对提高油田产量、增加经济收入起着至关重要的作用。针对敖南油田B井区,受断层遮挡影响、注采关系不完善、直井开发效果差等问题,为改善该井区开发效果、提高原油产量,本文开展敖南油田B井区平直联合布井及注水措施综合调整研究。首先,以敖南油田B井区为研究对象,利用研究工区范围内地质数据和24口井井位信息,通过三维地质建模建立了层面模型、断层模型、构造模型、沉积相模型
濒危植物东北刺人参属于五加科,是具有观赏价值的珍贵药用植物。但因严格的生境条件和过度的采挖,东北刺人参野生资源遭到破坏,而人工栽培体系尚未建立,造成东北刺人参植物材
【目的】比较和分析应变式弹性成像与剪切波弹性成像对乳腺良恶性结节的诊断价值。【方法】选择2018年2月至2018年12月苏北人民医院甲乳外科收治的乳腺结节患者120例共139个
随着中国经济的发展,高等教育逐渐由精英教育开始向大众教育转变。尤其是本世纪初开始的高校扩招,使在校生数量急剧增长。学生规模的扩大导致高校基础设施无法满足其需求。许多高校开始修建新的教学、科研、后勤设施。但高校在轰轰烈烈的建设时不得不面对资金不足的问题。在这种背景下,国家开始推进高校后勤社会化改革,以引入社会资本的方式助力高等教育发展,从而减轻政府与高校的资金压力。以BOT模式建设学校后勤设施就是一
【目的】以“胃痈”立论观察益气健脾清解方对脾胃气虚型糜烂性胃炎患者的治疗作用,进一步揭示脾虚与胃痈的关系,更进一步证明加用清热解毒药后对改进该型患者中医症候及镜下糜烂的疗效。【方法】本课题通过随机对照的方式,将86例糜烂性胃炎脾胃气虚型患者随机分成对照组和治疗组,各43例,对照组予香砂六君子汤加减治疗,治疗组予益气健脾清解方—香砂六君子汤联合清热解毒药(蒲公英、半枝莲、黄连)加减治疗,观察两组治疗
[目的]阐明北京协和医院急诊科肺炎克雷伯菌血流感染的临床特征及死亡相关危险因素。分析多重耐药肺炎克雷伯菌血流感染抗感染治疗方案与预后的相关性。[方法]回顾性分析北京协和医院急诊科2016年12月至2019年11月非重复的肺炎克雷伯菌血流感染69例。收集相关临床数据、菌株类型及治疗进行分析。[结果]急诊科肺炎克雷伯菌血流感染原发感染灶多见于肝脏、腹腔、胆管系统及泌尿系统。血流感染前入住抢救室/EIC
目的 机械力与创面炎症反应是影响创伤愈合的两个关键因素。异常的力学环境与过度的炎症反应常导致病理性瘢痕,甚至难愈性创面形成。然而,机械力与皮肤炎症是否能够相互作用,
本文分析《侵权责任法》第12条按份责任与第37条第2款补充责任之间的关系,以道路管理瑕疵与妨碍通行行为结合造成同一损害后果案件中道路管理人的责任形态为分析视角,共四章。第一章介绍公共道路妨碍通行物致人损害案件中责任形态的选择困境。首先,以案例表明审判实务中判决结果的差异。其次,分析道路管理人可能承担的责任形态。相关特别法规就责任形态问题未做具体说明,连带责任没有适用的基础,文义解释同时符合按份责任