单次扫描方法测量金属薄膜的介电系数和厚度

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该文提出了单波长单次扫描测量金属薄膜的介电系数和厚度的方法.测量的样品结构包括;棱镜,一层直接涂于棱镜上的透明的有机薄膜和溅射在有机薄膜上的金属薄层(通常是金和银),以及外界空气,利用衰减全反射技术,在这种的结构中同时激发两个不同的等离子表面波.其中一个是在金属-空气界面上传播的传统的等离子表面波,另外一个则在非对称结构(有机薄膜-金属-空气结构)中传播的改进的长程表面波.实验中,通过单次扫描所得的反射率曲线可以清楚地得到了两个吸附峰.在结果分析中,分析了入射光束的质量(高斯光束)以及棱镜对计算结果的影响.
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