离子束溅射沉积相关论文
近红外波长为1.064 μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干......
本文应用高斯型离子束流强度分布计算了离子束溅射沉积光学薄膜的沉积速率分布,结果表明,沉积速率空间分布偏离余弦分布,峰值位置......
用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损伤阈值等特性进行了分析.......
铜锌锡硫基薄膜太阳电池是以铜铟镓硒基薄膜太阳电池为基础而发展起来的新型硫属化合物半导体光伏器件。其吸收层材料由含量丰富且......
简要介绍了９６ 年欧洲真空镀膜会议概况，结合９４ 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容，对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介......
为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3 )基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 ......
镍-金属氢化物电池已成为电池领域的研究热点，作为电池负极的贮氢材料的研究与发展将极大影响着电池的性能，其中贮氢薄膜的研究将是......
在由激光驱动的惯性约束核聚变的光学系统中，控制光束的光学元件要达到一定的功能，就需要在光学元件基底上镀制不同材料、不同膜层的......
采用离子束沉积技术在医用Ti6Al4V合金表面制备类金刚石薄膜(DLC),利用原子力显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)及UMT-2摩......
利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2／SiO2+Al2O3／SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400℃......
用Ａｒ＋束溅射沉积技术在ＨｇＣｄＴｅ表面实现了ＺｎＳ的低温沉积．用Ｘ射线光电子能借（ＸＰＳ）对上述ＺｎＳ薄膜以及热蒸发ＺｎＳ薄膜中的Ｚｎ、Ｓ元素的化学环境进行了对比实验研究．实验......
氧化硅（SiOx）原位钝化层对氧化钒（VOx）薄膜电学特性的影响分析旨在改善像元微桥结构的光学吸收特性，提高热敏VOx薄膜层的方阻和电阻温度......
薄膜材料是现代材料领域发展迅速的一种材料,其制备方法现在已有很多种。本论文介绍了几种制备薄膜的方法,重点介绍了磁控溅射和离......
空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500～720nm)和近红外(波长(1 064......
采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力......
离子束溅射沉积薄膜技术广泛用于高质量半导体薄膜和光学薄膜的制备工艺,在制备过程中生长条件的选取决定了薄膜的质量和性能。本......
用Ar+束溅射沉积技术实现了CdTe薄膜的低温沉积生长。用X射线光电子能谱(XPS)分析技术对溅射沉积CdTe薄膜以及CdTe体晶中的Cd元素......
为了消除单点金刚石车削（SPDT）后KDP晶体表面留下的周期性小尺度波纹,文章探索采用离子束溅射沉积-刻蚀的方法对车削后KDP晶体进行抛......
针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题,采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积......
<正> 类金刚石薄膜已进入实用开发阶段。现通过离子束溅射技术,以氩、氢为混合气体,在硅片与玻片上间接式沉积类金刚石薄膜。用 X ......
采用离子束溅射沉积镀膜法制备了DLC薄膜,研究了偏压对薄膜性能的影响。通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌以及......
采用离子束溅射沉积的方法在Si衬底上生长Ge量子点,观察到量子点的生长随Ge原子层沉积厚度θ的增加经历了两个不同的阶段.当θ在6......
采用离子束溅射法通过在CH4和Ar的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗（Ge_（1-x）C_x）薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能......
采用离子束溅射沉积Fe/Si多层膜的方法在石英衬底上制备了β-FeSi2薄膜,研究了不同厚度比的Fe/Si多层膜对β-FeSi2薄膜的结构性能......
在不同的沉积温度下采用离子束溅射技术,在Si基底上生长得到分布密度高、尺寸单模分布的圆顶形Ge量子点.研究发现:随沉积温度的升......
实验研究了离子束溅射铂膜的沉积速率与溅射功率、基片温度之间的关系。结果表明基片温度对沉积速率有明显的影响．沉积速率随基片温......
在多功能离子束辅助沉积装置上采用交替溅射和冷却聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜。由XPS的结果可知，所得薄膜主要由CF2结构组成；FT......
氮化钛(TiN)作为力学性能和生物相容性优异的生物材料,广泛应用于义齿和髋关节的涂膜等方面。在膜层较薄时,氮化钛具有良好的光学......
在由激光驱动的惯性约束核聚变的光学系统中，控制光束的光学元件要达到一定的功能，就需要在光学元件基底上镀制不同材料、不同膜层的......
本文首先利用离子束溅射聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜，进而研究了其结构。由ＸＰＳ的结果可知，所得薄膜主要由ＣＦ２结构组成；由ＦＴＩＲ的结果可知，在......
采用离子束溅射Fe靶的方法在500～800℃的Si（111）衬底上制备出不同种类的铁硅化合物。当衬底温度为700℃时得到厚度为500nm的单相的β-......
