激光划片工艺优化及理论研究

来源 :河北工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fxlilac
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
能源危机问题已经触及到社会发展的许多方面,如果能够妥善处理能源枯竭和合理开发利用这对矛盾,这将会造福我们的子孙后代。进入21世纪,新能源的开发利用成为人们研究的重要课题,其中太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的能源,其开发利用已经得到了许多研究人员高度重视。   太阳能硅晶片的加工是太阳能产业中非常重要的工序。目前,太阳能硅片的划片技术已经日趋成熟,但其产能跟不上市场的需求已经成为目前需要迫切解决的问题,针对这一情况,本文着重从提高工艺环节的效益这一方面来提高太阳能硅片的产能,从而从一定程度上改善了太阳能硅晶片的产能不足问题。文中的工艺优化方案仅对单晶硅、多晶硅太阳能电池的划片进行比较深入的研究,此种方案也可延伸到其他半导体材料的划槽与切割,对类似的材料都适用。   在分析国内外激光加工技术,尤其是激光划片技术的基础上,从激光的原理出发,逐层分析激光划片技术的优化过程,为改善激光划片系统做了一定的探索。   本文主要做了以下研究工作:   1.激光器内部光路的优化研究:从激光器的最小系统出发,对其内部影响光路的各种因素进行合理的优化研究,提高了划片的效率。   2.外部控制柜机械结构的设计及控制电路部分的研究:控制激光器工作的各个部分位置的摆放将影响激光器的工作,影响其自身的散热,影响操作人员的操作,等等。合理的安排这些部件的布局将会使激光器更稳定的工作,并且能够延长机器本身的寿命,给操作人员带来很大的方便。设计好电路控制部分将能更好的增加整个系统的稳定性,电路保护部分也是这部分的研究重点,在最稳定的前提下还要最大限度的保证每个操作人员的安全。   3.激光划片实验中各参数工艺优化的研究:通过对激光电源的输出电流、声光Q 电源的输出频率和脉宽、激光焦点的移动速度、激光光斑直径的大小等参数的调节,最终得出了划片过程中各种参数的最佳取值范围。   在研究的过程中,均采用目前技术比较成熟的YAG 激光划片设备进行实验,而随着激光技术的不断发展,半导体激光划片设备和光纤激光划片设备已得到广泛的应用,在以后的研究过程中采用更先进的设备对划片工艺的优化会起到更好的促进作用。
其他文献
本文以中国新诗的得与失为切入点,谈其对现代中国诗坛的影响.首先,从中国新诗诞生的历史背景分析了新诗这一历史和文学现象的局限性;其次,肯定了新诗作为特定历史阶段的新兴
储层沉积微相研究是油藏描述的重要环节,无论在勘探阶段还是在开发阶段,都必须进行储层沉积相微相分析。由于取心资料有限,测井资料在沉积微相研究中起着尤为重要的作用,传统
本论文以多学科的理论为指导,在充分利用前人研究成果、钻测井资料、地震资料的基础上,综合运用以石油天然气地质学、地震地层学、构造地质学等基本理论,以构造演化过程及变
长笛为西方室内乐的重要乐器,晚清时期传入我国,1922年北京大学附属音乐传习所开设了长笛课程,标志着我国长笛教育的开端,民族化是我国长笛艺术发展最为鲜明的特征,从贺绿汀
综合运用地质、地球化学、地球物理等新理论和新方法,首先对南堡凹陷断层、砂体、不整合等输导要素进行了分析,在此基础上开展了输导体系与各成藏条件时空匹配性分析,最后总