【摘 要】
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多铁材料是指在一定温度范围内表现出铁电性(反)、铁磁性(反)以及铁弹性中一种以上性能的材料。此类材料在铁电器件、磁性方面和磁电耦合等器件方面有着广泛的应用前景,近年来受到了人们的广泛关注。BiFeO3(BFO)是目前唯一在室温下即显示出多铁性的单相多铁材料。但BF03中因Bi容易挥发及Fe离子的价态波动可导致大的漏电流,进而严重影响其铁电、介电等电学性能。本文主要利用磁控溅射和溶胶凝胶方法制备了掺
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多铁材料是指在一定温度范围内表现出铁电性(反)、铁磁性(反)以及铁弹性中一种以上性能的材料。此类材料在铁电器件、磁性方面和磁电耦合等器件方面有着广泛的应用前景,近年来受到了人们的广泛关注。BiFeO3(BFO)是目前唯一在室温下即显示出多铁性的单相多铁材料。但BF03中因Bi容易挥发及Fe离子的价态波动可导致大的漏电流,进而严重影响其铁电、介电等电学性能。本文主要利用磁控溅射和溶胶凝胶方法制备了掺杂的BFO3薄膜,研究了衬底、退火温度以及退火气氛对薄膜结构与电性能的影响。采用磁控溅射法,在
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