太赫兹波具有诸多显著的特性及其在各领域的广泛应用,特别地,太赫兹波以其在通信领域的得天独厚的优势引起国内外学者的广泛研究。太赫兹可调滤波器作为关键无缘元件,是太赫兹可重构通信系统的重要组成部分,广泛应用于太赫兹波段的调频电台、多功能接收机、电子对抗等方向,所以,研制高性能的太赫兹可调滤波器对于太赫兹通信领域的发展至关重要,这对我国发展太赫兹通信系统有着非常重要的意义。结合MEMS技术,采用多形式的热电驱动微执行器,设计新颖的调谐方案以实现高性能的太赫兹可调滤波器是本文的研究重点。本文所做的工作和取得的主要研究成果为:1.详细阐述了微执行器各驱动方式的基本原理和微执行器设计要点,结合MEMS技术的最新发展,选择了先进的PolyMUMs加工工艺。从滤波器综合理论出发,推出了可调滤波器稳定条件,并结合滤波器综合理论,提出了H面膜片耦合波导带通滤波器快速设计方法。这些工作为后面的微执行器设计和太赫兹可调滤波器设计奠定了理论基础。2.基于优势突出的热驱动方式,设计了可实现垂直于平面位移的蛇形级联Bimorph微执行器和可实现平行于平面位移的对称U型梁微执行器,采用Ansys软件对其进行仿真优化分析,最终完成版图绘制、加工、装配测试。Bimorph微执行器的测试结果达到预期,U型梁微执行器未测试出性能,并对其进行了详细的原因分析。3.首次提出了四种基于波导的可用于太赫兹波段的新颖的调谐方式,这几种调谐方式都将尽量避免引入微执行器影响作为设计前提,以期实现高性能。其中两种调谐方式可用于太赫兹可调带通滤波器设计,另两种可用于太赫兹可调带阻滤波器设计,并通过实例,采用HFSS软件进行了仿真验证。4.通过对EBG结构的原理剖析,并仔细分析了带有膜片的蛇形级联Bimorph微执行器结构,推得其具有吸波特性,且具有可调性,采用太赫兹时域光谱系统对其测试验证了推论。这种新颖的设计思路为以后太赫兹可调吸波器研制提供了宝贵的经验。