压电材料的响应速度快，灵敏度高，在各个领域拥有广泛的应用，而压电纤维与压电薄膜又有尺寸小，柔顺性能优的特点得到了大量的研究。本文主要研究了压电纤维与压电薄膜的制备过程，对获得的薄膜进行表征分析，确定成分，然后将压电材料应用到MEMS微纳米器件当中。本文的主要内容及创新点如下:　　1.研究了静电纺丝法、溶胶凝胶法、溅射法制备的PZT压电薄膜。静电纺丝法制备了PZT纤维薄膜，实验设备自行搭建，采用了辅助电场以及平行板电极，并对改进的电场进行了对比仿真分析，自行搭建的电场在收集板附近电极更大，获得了取向较为一致的纤维，并对最终获得的薄膜进行了表征测试，结晶情况及表面情况都较好。溶胶凝胶法制备了PZT压电薄膜，并改进了制备工艺，能够高效的获得PZT膜，并且结晶情况很好，容易获得(110)晶向的PZT薄膜。溅射法制备了PZT压电薄膜，通过多次溅射的方法得到了压电薄膜，并且有效的解决了薄膜开裂的问题且结晶效果良好。2.静电纺丝法获得了PZT单根纳米纤维，并在此基础上建立了单根纳米纤维谐振器模型，利用MEMS工艺制作了纤维收集器。通过理论计算、仿真分析、阻抗分析仪测试获得了PZT单根纳米纤维谐振器的频率，且三个频率之间的对比结果较好。3.设计了三轴压电微加速度计的结构及微制作工艺过程。通过分析压电微加速度计的电荷灵敏度、电压灵敏度及谐振频率与结构参数的关系，对压电微加速度计的结构进行了优化分析，并设计了正反对称电极连接方式，能够实现三个方向加速度的检测，且不存在串扰。优化设计了三轴压电微加速度计的微加工工艺，提出来合理且简便的工艺过程，并在设计的基础上绘制了掩膜图形。