该文的研究目的是设计—用于近场光学扫描显微镜的精密扫描平台,研究利用压电陶瓷作为驱动器的扫描平台的精度.通过对压电陶瓷特性的讨论,利用压电陶瓷的逆压电效应和电致伸缩效应来实现微驱动,定位平台使用柔性平台,对于影响纳米定位精度的压电陶瓷特性、驱动电源、柔性定位平台分别进行了研究,最后实现一个开环控制的—维纳米扫描机构,其定位精度为几十纳米.该文主要阐述了压电材料作为微定位材料的机理,探讨了压电材料的迟滞、蠕变、非线性等固有特性对微定位的影响,设计了一维柔性定位平台,对柔性平台的运动特性进行了理论分析.根据分析结果提出了确定刚度的原则和刚度的理论计算方法,由此选择了平台设计参数.为了减少驱动电源对定位精度的影响,利用串联稳压电路设计了纹彼小于50毫伏、输出300伏的精密直流驱动电源.对由压电陶瓷、柔性平台、驱动电源组成的驱动器进行了试验,得出了驱动器的非线性、迟滞、蠕变曲线,在对试验结果分析的基础上,提出了分段线性化、设定时间常数等的开环控制策略,减小了非线性、迟滞、蠕变对位移精度的影响,达到了50纳米的定位精度.对微位移传感器进行了一定程度的探索,分析了光纤传感器用于测量纳米定位机构位移的可能性.