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进入21世纪以来,在国家重视环保、大力开发新能源和可再生能源的政策背景下,我国太阳能电池的发展日新月异。在世界能源日趋紧张的形势下,太阳能行业的发展变得尤其重要。同时,最近5年以来,国内太阳能行业的发展也蒸蒸日上,行业的竞争更是日渐激烈。在这样的背景下,开发高效的太阳能电池是众多太阳能企业得以生存的唯一出路。目前太阳能业界通过传统的工艺制备的多晶硅电池的转换效率基本在16.6%左右,为了进一步提高转换效率,需要引进新的生产工艺。本论文研究的主要内容是基于实际高效电池生产线的工艺,通过运用Selective Emitter(选择性发射极)工艺,二次印刷Ag正电极工艺,匹配PN结方阻与刻蚀后方阻以及提高减反射膜质量等方法,来提高太阳能电池效率。本文重点研究和解决制绒工艺的窗口改善问题,扩散后方阻与后清洗后的方阻有效的匹配,Si3N4防反射膜的钝化效果改善,选择性发射极制备过程中蜡印与丝网印刷时的对准问题以及丝网印刷中的烧结匹配问题。通过改善以上的工艺问题,预期将转换效率提高到17%左右。本论文通过摸索制绒的工艺条件,寻找优化的工艺窗口,提高转换效率0.13%左右;通过调整扩散工艺方案实现浅结掺杂,提高转换效率0.1%;通过匹配后清洗多孔硅厚度,提高转换效率0.06%;通过在PECVD工序采用优化的双层膜工艺,提高转换效率0.1%;最后通过对丝网印刷中烧结区温度的优化,提高转换效率0.1%左右。通过以上的工艺优化,我们实际的转换效率从16.6%提高到了17.1%,超过了我们的预期目标0.1%。达到了我们的预期。取得了阶段性的成果。