高过载硅微结构MEMS电容器研究

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本论文针对引信系统对高性能储能器件的迫切需求,重点开展了具有抗高过载、比容值高、体积小、发火电压低的MEMS电容器制造与应用的相关研究,为引信发火电容的设计与应用奠定了理论基础与技术支持。本论文利用ANSYS软件仿真分析了电容器的力学性能,仿真结果肯定了高深宽比深槽结构的可靠性;通过TCAD仿真对刻蚀工艺进行了仿真,确定了干法刻蚀的可行性;通过光刻、显影、去胶、深层反应离子刻蚀(DRIE)技术等一系列MEMS工艺完成了高深宽比深槽结构的制备,并对深槽的垂直度和粗糙度进行了分析,将刻蚀/钝化周
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